簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="Ti\u002DAl\u002DIn\u002DO"


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    射頻磁控濺鍍法製備閘極氧化層之鈦-鋁-銦-氧薄膜研究
    • 材料科學與工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 林子超   指導教授： 郭東昊
    • 本研究使用金屬鈦(Ti)、金屬鋁(Al)與氧化銦(In2O3)粉末組成三種不同配方之靶材，利用射頻磁控濺鍍法於p型矽基板上製備鈦鋁銦氧(TAIO)薄膜，並在氮氣氛下以快速退火(500°C~800°C…
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